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全생산라인에 5Mask 확대·적용
2000-12-19
LG LCD가 6월부터 全생산라인의 Photo Mask 공정에 5Ma- sk를 적용하여 생산성과 수율을 크게 향상시키고 있다.
Photo Mask 공정은 LCD제조공정 중 가장 중요한 공정으로서 얇은 유리기판 위에 세정, 박막, 증착, Photo, Etche의 순차적인 공정의 반복으로 여러층의 박막을 입혀 TFT(Thin Film Transistor)를 형성시키는 공정이며, 5Mask는 Photo Mask 공정에서 소요되는 Mask 수를 5개로 줄인 것을 말한다.
Mask 수를 줄인다는 것은 그만큼 공정을 줄일 수가 있어 생산성과 수율 향상에 큰 영향을 미치게 된다.
현재, 대부분의 LCD 생산업체들은 6·7개의 Mask를 필요로 하며, LG LCD를 비롯한 국내업체들은 5개의 Mask를 Photo Mask 공정에 적용하고 있다.
특히, LG LCD는 LCD업계에서도 가장 최소의 공정단계로 5Mask를 구현하는데 성공함으써 생산량의 증대에 상당한 플러스 요인이 되고 있다.
5Mask를 이전부터 370×470mm 생산라인에 적용하여 신규투자없이 월 1만8천대 (14.1인치 기준) 이상의 추가생산이 가능해져 20%의 생산성과 3~4% 정도의 수율이 향상 되었으며, 6월부터는 590×670mm 라인에도 확대·적용하여 그 이상의 생산성 및 수율 향 상을 통해 모니터용 15.1인치와 18.1인치 TFT-LCD의 공급부족분을 충당하고 있다.
한편, LG LCD는 관련기술에 대한 다수의 특허를 출원中이다.